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锗单晶的晶向晶体完整性和外形以及锗片的几何参数

  14-3-4锗单晶的晶向'晶体完整性和外形
晶向 晶向为〈111〉或由供需双方商定;晶向偏离应不大于2。
晶体完整性 位错密度范围分成四类:< 1000cm-2、1000 + 3000cm-2、2000 + 4000cm-2 和 3000 +
5000cm-2不得有位错堆、星形结构、裂纹和气孔;
小角晶界和位错排每根的长度不得大于3mm,总长度不得超过单晶直径的1/6
晶体外形 两端面应平整,边缘不得有长度和宽度大于3mm、深度大于1mm的缺损
 
 
第二节 锗单晶片(GB/T 15713 - 1995)
各种牌号的错单晶经切割、双面研磨、分割、腐蚀制备的圆形、方形和长方形错片,用于制 作晶体管和红外器件。
14-3-5锗片的几何参数 (单位:mm)
项目 锗片几何参数
大圆片 小圆片 方片或长方片 腐蚀片
直径 10 + 50 3.6,4.0,6.0,8.0,9.2    
直径允许偏差 同单晶直径允许偏差 ±0.1    
边长     0.90x0.90
1.00x1.00
2.00x2.00
2.30x2.30
2.45x2.45
2.55x2.55
3.16x3.16
4.75x4.75
3.00x4.00
0.85x0.85
0.90x0.90
0.95x0.95
1.05 x 1.05
 

续表
项目 锗片几何参数
大圆片 小圆片 方片或长方片 腐蚀片
边长允许偏差     ±0.05 ±0.05
厚 度 0.24-0.36 0.24-0.36 0.24-0.30 0.13-0.17
厚度允许偏差 ±0.01 ± 0.01 ±0.01 ±0.01
 
注:①大圆片中有边缘破损的锗片,其内接圆的直径应不小于9.35mm,其重量应不超过该批总重量的5%。
② 需方如有特殊要求(包括红外器件用锗片),由供需双方另行商定。
③ 锗片涉及的锗单晶物理参数见表14-3-1.表14-3-2,晶体完整性见表14-3-3o
④ 锗片表面取向为〈111〉或由供需双方商定,表面取向偏离应不大于2。。